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當(dāng)前位置:首頁(yè) > 技術(shù)文章 > MC方案|采用FR-Scanner繪制硅晶圓上的薄膜涂層
光學(xué)膜厚儀 膜厚儀、測(cè)厚儀、干涉儀、厚度測(cè)量?jī)x
FR的工具基于白光反射光譜(Reports),準(zhǔn)確同步的厚度測(cè)量及薄膜的折射率一個(gè)廣泛的多樣化的應(yīng)用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案,如:
半導(dǎo)體、有機(jī)電子、聚合物、涂料和涂料、光伏、生物傳感、化學(xué)傳感……
FR-Scanner
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