鍵合機工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,如陽極,玻璃料,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接鍵合。易于操作的鍵合室和工具設計,讓用戶能快速,輕松地重新裝配不同的晶圓尺寸和工藝,轉(zhuǎn)換時間小于5分鐘。這種多功能性非常適合大學,研發(fā)機構(gòu)或小批量生產(chǎn)。鍵合室的基本設計在量產(chǎn)工具上是相同的,鍵合程序很容易轉(zhuǎn)移,這樣可以輕松擴大生產(chǎn)量。
閉環(huán)壓力控制系統(tǒng),減少人為影響;界面輸入、調(diào)節(jié)方便;獨立設置,使用靈活。DSP鎖相,超聲波輸出穩(wěn)定。*工藝設計,*的軟基片適應能力和細絲控制能力。電驅(qū)動方式,無需壓縮空氣。平行四邊形結(jié)構(gòu)的鍵合頭,適合深腔大模塊器件。*工藝自學習中文觸摸界面,易于上手。
鍵合機產(chǎn)品特點
(1)使用恒溫控制加熱技術(shù),精密溫控器控制溫度,溫度準確穩(wěn)定;
(2)采進口數(shù)顯壓力表,顯示直觀、質(zhì)量穩(wěn)定、經(jīng)久耐用。
(3)采用進口元氣件及電子配件,設備穩(wěn)定,*。
(4)鋁合金工作平臺,上下面平整,熱導速度快,熱導均一;
(5)加熱面積大,涵蓋常用大小芯片;
(6)采用進口精密調(diào)壓閥壓力穩(wěn)定可調(diào),針對不同的材料選用不同的壓力控制;
(7)采用*的真空熱壓系統(tǒng),在保證芯片不損壞的情況下大幅度提高鍵合效果。
以上便是今天關(guān)于鍵合機采用的技術(shù)工藝及產(chǎn)品特點的全部分享了,希望對大家今后使用本設備能有幫助。