等離子刻蝕機一般應用于半導體加工領域,而等離子清洗機則一般應用于材料領域。等離子清洗處理可改變材料的表面化學。因此能改變材料的表面性質。例如,大氣或是氧氣等離子常用在聚合物(例如聚苯乙烯,聚乙烯)表面產(chǎn)生羥基。通常表面從疏水性(高水接觸角)改變至親水性(水接觸角小于30度),并增加表面潤濕性能。等離子處理也能改變其它材料的表面化學(表面性質),如硅、不銹鋼及玻璃。
用低溫等離子體在適宜的工藝條件下處理PE、PP、PVF2、LDPE等材料,材料的表面形態(tài)發(fā)生顯著的變化,引入了多種含氧基團,使表面由非極性、難粘性轉為有一定極性、易黏性和親水性,有利于粘結、涂覆和印刷。
等離子刻蝕機在化學品蝕刻中的應用情況
化學蝕刻是制造電路板的傳統(tǒng)方法。由錫或錫和鉛組成的蝕刻抗蝕劑保護銅箔的某些區(qū)域,而其余的銅被蝕刻掉。
該工藝使用氨蝕刻液去除銅。氨溶液不會腐蝕錫或鉛,所以錫下的銅仍然是一根“導線”,或者是電子沿著完整電路板運動的路徑。
化學蝕刻的質量可以通過未被抗蝕劑保護的銅去除的完整性來定義。質量還指痕跡邊緣的直線度和蝕刻底切的水平。
蝕刻底切是由化學品的非定向蝕刻引起的,一旦發(fā)生向下蝕刻就允許側向蝕刻。較少的底切被認為是更高的質量。測量這些底切并把它稱之為“蝕刻因子”。
蝕刻工藝中的所有步驟都是連接的,并且蝕刻質量可能是蝕刻溶液或所用抗蝕劑的結果。
化學蝕刻使用許多有害化學物質,并且不是環(huán)境友好的蝕刻工藝。