在晶圓劃片機劃切過程中，晶圓在劃切時需要固定在吸盤上。在吸盤的表面加工有吸附槽，通過使吸附槽內(nèi)產(chǎn)生低壓真空以將晶圓吸附在吸盤表面。

　　由于劃切過程中主軸在高速的旋轉，刀片在劃切晶圓時產(chǎn)生很大的切削力，所以晶圓的吸附需要非常的穩(wěn)定和可靠。而現(xiàn)有的吸盤，存在吸附穩(wěn)定性差的問題。

　　吸盤的吸附力的大小將直接影響到真空吸附的穩(wěn)定性，而吸附力的大小與吸盤表面設置的吸附槽的大小及形狀、布局等有關。并且，如果吸附槽中落入雜質，不能及時進行清理的話，將會影響真空吸附力，從而影響吸附穩(wěn)定性。而現(xiàn)有的吸盤，其上設有方形的吸附槽，而方形吸附槽內(nèi)的雜質由于不易清理，嚴重地影響了其次吸附力，從而影響了吸附穩(wěn)定性。

　　晶圓劃片機出現(xiàn)故障怎么維修？

　　主軸抱死——主要原因是空氣回路不潔凈，過濾效果不好，特別是進入油、雜子造成氣孔堵塞而造成的。

　　修理方法：首先，更換過濾器芯，過濾效果;其次，打開主軸重新研磨軸承內(nèi)孔及端面，然后用航空汽油*清洗干凈即可。此操作一般用戶不具備條件，應送專業(yè)廠修理。

　　振動過大——主要原因，一是主軸動平衡不好(包括刀盤)，二是砂輪片動平衡不好。

　　修理方法：主軸重新做動平衡達到合格，此操作一般用戶不具備條件，應送專業(yè)廠修理;或更換合格的砂輪片。

　　跳動過大——主要原因是刀盤，或主軸加工精度不好，處理辦法：更換刀盤或主軸。

　　溫升過大——主要原因，一是主軸冷卻不好，處理辦法：檢查冷卻水壓力、水溫和水量是否正常。二是電機過載發(fā)熱導致，主要原因是小馬拉大車，主軸功率偏小;處理辦法：降低加工范圍，或則更換功率大的主軸。

　　電流過大——一是過載，二是電機質量不好。處理辦法：修理或更換主軸。

　　噪聲過大——主要是氣流噪聲。處理辦法：修理或更換主軸。

　　耗氣量過大——主要是主軸氣路密封不好漏氣，或軸系配合間隙過大。處理辦法：修理或更換主軸。

　　軸系熱串動大——現(xiàn)象是，工件冷卻水開和停，主軸刀片軸向位移大，主要原因是主軸內(nèi)部冷卻效果不好，或著是主軸內(nèi)部冷卻結構不*，導致冷卻效果不好，處理辦法：修理或更換主軸。