1.設置里面儲罐冷凍系統(tǒng),有效防范溶劑揮發(fā)
2.建立液位控制系統(tǒng),保證設備正常運行
3.設置溶劑加熱和數(shù)字顯示溫度控制裝置,保證直觀和準確的溫度控制
4.建立快速冷凍干燥系統(tǒng),以實現(xiàn)工件的快速冷凍干燥
5.建立溶劑過濾系統(tǒng)以此降低研發(fā)設計成本
6.建立溶劑蒸餾回收系統(tǒng)以保持溶劑的純度和再生
硅片清洗機物理清洗有三種方法:
?、偎⑾椿虿料?可除去顆粒污染和大多數(shù)粘在片子上的薄膜。
②高壓清洗:是用液體噴射片子表面,噴嘴的壓力高達幾百個大氣壓。高壓清洗靠噴射作用,片子不易產生劃痕和損傷。但高壓噴射會產生靜電作用,靠調節(jié)噴嘴到片子的距離、角度或加入防靜電劑加以避免。
?、鄢暡ㄇ逑矗撼暡暷軅魅肴芤?靠氣蝕作用洗掉片子上的污染。但是,從有圖形的片子上除去小于1微米顆粒則比較困難。將頻率提高到超高頻頻段,清洗效果更好。
硅片清洗機被日益廣泛應用于各行各業(yè):
1、機械行業(yè):防銹油脂的去除;量具的清洗;機械零部件的除油除銹;發(fā)動機、化油器及汽車零件的清洗;過濾器、濾網的疏通清洗等。
2、表面處理行業(yè):電鍍前的除油除銹;離子鍍前清洗;磷化處理;清除積炭;清除氧化皮;清除拋光膏;金屬工件表面活化處理等。
3、儀器儀表行業(yè):精密零件的高清潔度裝配前的清洗等。
4、電子行業(yè):印刷線路板除松香、焊斑;高壓觸點等機械電子零件的清洗等。
5、醫(yī)療行業(yè):醫(yī)療器械的清洗、消毒、殺菌、實驗器皿的清洗等。
6、半導體行業(yè):半導體晶片的高清潔度清洗。
7、鐘表首、飾行業(yè):清除油泥、灰塵、氧化層、拋光膏等。
8、化學、生物行業(yè):實驗器皿的清洗、除垢。
9、光學行業(yè):光學器件的除油、除汗、清灰等。
10、紡織印染行業(yè):清洗紡織錠子、噴絲板等。
11、石油化工行業(yè):金屬濾網的清洗疏通、化工容器、交換器的清洗等。