污染物對電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統(tǒng)產(chǎn)生的影響

潤滑劑、真空脂、泵油樣品中的高分子聚合物，或未經(jīng)處理的空氣都會把碳氫污染物引到真空系統(tǒng)中。低蒸汽壓下高分子重污染物會凝聚在樣品表面和腔室壁上，而使用普通氣體吹掃方法很難把碳氫污染物清除。

電子和高能光子(EUV, X-ray)能夠分解存在于真空系統(tǒng)中或樣品上的碳氫污染物。碳氫化合物的分解產(chǎn)物沉積在被觀測的樣品表面或電子光學部件上。這種碳氫污染沉積會降低EUV的鏡面反射率，降低SEM圖像對比度和分辨率，造成錯誤的表面分析結(jié)果，沉積在光闌或其它電子組件的不導電碳氫污染物甚至會造成電子束位置或聚焦緩慢漂移。在ALD系統(tǒng)中，樣品表面的碳氫污染物還會降低薄膜的界面匹配質(zhì)量。

遠程等離子清潔的原理

遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會擴散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學反應，反應產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠程等離子清洗機可同時清潔真空系統(tǒng)和樣品。

技術(shù)特點：

快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

低等離子偏壓設計減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合多級氣體過濾技術(shù)，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶苛刻的顆粒污染清除要求

可選藍寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應用

*的等離子強度傳感器可實時監(jiān)測等離子狀態(tài)，用戶對等離子狀態(tài)一目了然

基于壓力傳感回饋控制的自動電子流量控制器，無需手動調(diào)節(jié)針閥

直觀的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案

擁有智能安全操作模式和專家控制模式；SmartScheduleTM定時裝置，通過檢測樣品裝載次數(shù)或時間間隔來定時清潔系統(tǒng)

 技術(shù)指標

1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭；

2. 標配等離子強度傳感器；

3. 等離子源低點火起輝氣壓：<0.1毫托；

4. 等離子源高工作氣壓：>1.0 托；

5. 漏氣率：<0.005sccm；

6. 射頻輸出：0~100瓦，連續(xù)可調(diào)節(jié)；

7. 具有射頻自動匹配功能

8. 電源和功率：220V, 50Hz,

低電磁干擾設計，安靜的待機模式