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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 納米壓印光刻機 > NIL系列 > PL400NIL納米壓印PL系列
簡要描述：EZ Imprinting推出了一款臺式獨立NIL納米壓印PL系列系統(tǒng)：PL系列400/600.EZImprinting是一種超高產(chǎn)率（> 99％）納米壓印光刻系統(tǒng)，帶有低于10納米的分辨率和一步自動釋放功能。該平臺提供具有微定位夾具的機械平臺，用于安裝納米壓印室，UV固化源和對準(zhǔn)顯微鏡。它即可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器，同時提供可編程的自動控制功能。
產(chǎn)品型號：PL400 廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-05-16訪 問 量：2808產(chǎn)品分類
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EZI UV Nanoimprint System PL400
特點：
? 全晶圓壓印 - PL600適用于6英寸晶圓處理, PL400適用于4英寸晶圓處理
? 低于10納米分辨率，產(chǎn)率高達99％
? 一步自動釋放功能，可防止分離過程中模具/基材損壞，使壓印產(chǎn)量增大
? 支持各種類型的硬模和軟模
? 可變模具和基材尺寸，靈活方便
? 可編程PLC，通過自定義參數(shù)進行過程控制，帶觸摸屏用戶界面
? 對準(zhǔn)功能選項
? 多種工藝，適用于各種應(yīng)用光學(xué)器件，顯示器，數(shù)據(jù)存儲，生物醫(yī)學(xué)器件，半導(dǎo)體IC，化學(xué)合成和*材料等
? 專有的紫外線固化納米壓印抗蝕劑對硬度或厚度沒有限制，并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容
EZ Imprinting處理器參數(shù)：
基材尺寸: 4“標(biāo)準(zhǔn)（尺寸較小，形狀不規(guī)則）
印記區(qū) : 與晶圓尺寸相同。
模板尺寸 4”,2” and 1”
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