光譜橢偏儀顯微分光光度計(jì)

型號(hào)：SE-MSP

可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過微反射法與橢圓度計(jì)和微分光光度計(jì)相結(jié)合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測(cè)量和分析。

對(duì)于某些應(yīng)用（例如MEMS或半導(dǎo)體產(chǎn)品晶圓上的功能），希望有一個(gè)小的探測(cè)點(diǎn)。將顯微分光光度計(jì)與橢圓偏振光度計(jì)集成在一起后，工具的功能將大大擴(kuò)展。SE-MSP型是為此目的而設(shè)計(jì)的。MSP在反射法模式下工作，并以法向入射角進(jìn)行測(cè)量，這是對(duì)非法向入射角SE設(shè)置的補(bǔ)充。SE和MSP的波長(zhǎng)范圍可以根據(jù)應(yīng)用需求進(jìn)行不同配置。所有選項(xiàng)都是可選的。

應(yīng)用范圍：

•半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物..）

•液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

•法醫(yī)，生物膜和材料

•油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉

•藥品，醫(yī)療器械

•光學(xué)涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

•半導(dǎo)體化合物

•MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶，納米和晶體硅

特征：

•易于使用，基于Window的軟件進(jìn)行操作

•*光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*系統(tǒng)性能

•使用SExxxBA選項(xiàng)以0.001度的分辨率自動(dòng)更改入射角

•高功率光源，適用于寬帶應(yīng)用

•基于陣列的探測(cè)器系統(tǒng)可確保快速測(cè)量

•測(cè)量多層膜的厚度和折射率，允許用戶設(shè)計(jì)無(wú)限層的模型

•系統(tǒng)附帶全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)

••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表，色散或有效介質(zhì)近似值（EMA）

•三種不同的用戶級(jí)別控制：工程師模式，系統(tǒng)服務(wù)模式和簡(jiǎn)易用戶模式

•靈活的工程師模式，適用于各種配方設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)試

•強(qiáng)大的一鍵式按鈕解決方案，可進(jìn)行快速和常規(guī)的測(cè)量

•可配置的測(cè)量參數(shù)，操作簡(jiǎn)便

•全自動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)和初始化

•直接從樣品信號(hào)獲得精確的樣品比對(duì)接口，無(wú)需外部光學(xué)器件

•精確的高度和傾斜度調(diào)整

•適用于許多不同類型，厚度不同的基材

•各種選件，附件可用于特殊配置，例如測(cè)繪臺(tái)，波長(zhǎng)擴(kuò)展，焦點(diǎn)等

•2D和3D輸出圖形和用戶友好的數(shù)據(jù)管理界面

••用于微米區(qū)域選擇的數(shù)字成像工具

•集成反射計(jì)，用于小范圍內(nèi)的反射測(cè)量

系統(tǒng)配置：

探測(cè)器：探測(cè)器陣列

波長(zhǎng)范圍可配置為190至1700nm

光源：基于SE和MSP的波長(zhǎng)范圍

入射角更改：自動(dòng)，帶有程序設(shè)置

階段：手動(dòng)或自動(dòng)映射階段

軟件：TFProbe 3.3

SE和MSP結(jié)合

電腦：Intel i3處理器

顯示器：22英寸寬屏液晶

電源：通用110– 240 VAC / 50-60Hz，6 A