POLOS 450 Advanced

   德國進口 SPS勻膠機 POLOS  SPIN COATER®Advanced系列旋轉(zhuǎn)處理器是先進的系統(tǒng)，提供精確和可重復(fù)的工藝控制。一個空氣動力學效率高的腔室提高了均勻性，而天然聚丙烯工藝腔室保證了無污染、易于清潔的工藝區(qū)域。所有單元都具有可編程的CW和CCW旋轉(zhuǎn)以及puddle交換擺動功能。 

德國進口 SPS勻膠機 POLOS  SPIN COATER@ 450 Advanced是一款桌面型單基板旋轉(zhuǎn)器，配有NPP外殼、旋轉(zhuǎn)杯和手動化學分配器。適用于直徑最大為500毫米的圓形基板和350x350毫米的方形基板。

專為半導體、光伏、MEMS及納米材料領(lǐng)域設(shè)計，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴苛工藝要求。

一．特點：

1. 自動順序或并行化學分配；

2. 最多6個噴嘴，每個均可獨立編程；

    

   二．適用工藝范圍

   涂覆（Coating）

   清洗（Cleaning）

   沖洗/干燥（Rinse/Dry）

   顯影（Developing）

   蝕刻（Etching）

   PDMI及其他特殊工藝

    

   三．配置